Grundlagen der Fotolithografie I
Themengebiet: Kursbereich für die InnoVET-Kurse / Lithografie
Diese Lerneinheit dient zur Einführung in die Fotolithografie, indem die physikalischen und chemischen Grundlagen der Fotolithografie behandelt werden. Zur Vorbereitung auf das praktische Arbeiten in einem Reinraum wird neben der Theorie insbesondere mit Hilfe des Virtuellen Technologielabors (VTL) die Maschinenbedienung der Anlagen im Reinraum näher betrachtet. Die Besonderheit hierbei bietet der Einsatz von virtuellen, interaktiven Maschinensimulationen zum Erlernen der Maschinenbedienung.
Der Kurs beinhaltet folgende praktische Versuchsteile:
- virtuelle Vorbereitung anhand folgender Simulationen: Spin Coater,
Hotplate, optisches Schichtdickenmessgerät (FTP).
- praktische Grundlagen: Sicherheitsunterweisung, Waferhandling, Partikelmessung.
- Erstellen einer Kontrastkurve sowie Kontrastbestimmung eines Positiv-Resists.
- Entwicklung und Charakterisierung von Resiststrukturen - Einfluss von verschiedenen Belichtungsmodi auf die Strukturauflösung eines Positiv-Resists.
- Charakterisierung: Mikroskopie, mechanisches und optisches Profilometer, Rasterkraftmikroskop (AFM).
Das Wichtigste auf einen Blick:
Kursinformationen
Überblick
In diesem Kurs erhalten Sie Einblicke in die physikalischen und chemischen Grundlagen der Fotolithografie. Neben den theoretischen Lerneinheiten, inklusive selbstreflektierender Wissensüberprüfung, werden zugleich praktische Laborerfahrung via Simulation (virtuelles Training der Maschinenbedienung), Bild- und Videomaterial sowie 3D-Modellen vermittelt.
Zielgruppe
- Ausbildung zum/r Mikrotechnologen/in und verwandter Berufe (Weiterbildungsangebot – Kooperation mit anderen Universitäten, Berufsschulen, Ausbildungsbetrieben).
- Kenntnisse/Qualifizierung in Reinraumtechnik und/oder Praxiserfahrung.
- Weiterbildung
im Fach Mikrosystemtechnik – speziell in der Reinraumtechnologie –
Fotolithografie (beispielsweise auch Einführung neuer Mitarbeiter/Mitarbeiterschulung).
Teilnahmevorraussetungen
Für die Teilnahme an diesem Kurs sind keine erforderlichen Voraussetzungen geknüpft.
Allerdings müssen Sie vor Zutritt in das Labor (Reinraum) die allgemeine Sicherheitsunterweisung sowie die tätigkeitsbezogene Sicherheitsunterweisung erfolgreich absolvieren.
Termine
Nach Vereinbarung
Zertifikate & Abschlüsse
Als Abschluss erhalten Sie eine Teilnahmebestätigung und damit einen anerkannten Nachweis über das Absolvieren dieses Kurses mit praktischer Reinraumerfahrung inklusive einer Auflistung der behandelten Themen und Anlagen und somit über Ihre erworbenen Kompetenzen.
BBBBBAnbieterinformationen
Hochschule Kaiserslautern Fachbereich Informatik und Mikrosystemtechnik
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Die Hochschule Kaiserslautern mit den drei Studienorten Kaiserslautern,
Pirmasens und Zweibrücken steht für eine über 160-jährige Tradition in
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Hochschule für angewandte Wissenschaften ein wichtiger Impulsgeber für
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Praxisnähe, Innovation, Interdisziplinarität, Flexibilität,
Regionalbezug und Internationalität zeichnen uns aus.
Organisatorische Informationen
Benötigte Arbeitsmaterialien
- PC
mit Internetverbindung (Selbststudium)
- alle weiteren benötigten Arbeitsmaterialien werden vor Ort gestellt.
Kosten
Dank der Projektförderung durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) werden keine Kursgebühren erhoben.
Informationen und Beratung
Antoni.Picard@hs-kl.de
Tina.Jene@hs-kl.de
Kursinhalt wird erst freigeschaltet, wenn Sie sich mit ihrem Nutzerkonto angemeldet haben !
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