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Lithografie

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Grundlagen der Fotolithografie I
Diese Lerneinheit dient zur Einführung in die Fotolithografie, indem die physikalischen und chemischen Grundlagen der Fotolithografie behandelt werden. Zur Vorbereitung auf das praktische Arbeiten in einem Reinraum wird neben der Theorie insbesonde
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Ferdinand-Braun-Institut gGmbH,
Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik

Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin

Ansprechpartnerin Dr. Anja Quednau
Telefonnummer: +49 30 6392 2802
E-Mail: info@microtec-academy.de

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