In diesem Workshop erarbeiten die Teilnehmer einen Versuchsplan zur prozesstechnischen Freigabe eines neuen Fertigungstools in der Halbleiterindustrie. Der Schwerpunkt liegt auf der Entwicklung, Durchführung und Auswertung der Versuche, um relevante Daten zu sammeln. Die Ergebnisse fließen in eine Dokumentation ein und führen zur Erstellung eines ersten Geräte-Rezeptes.