Herstellung eines Kraftsensors

Themengebiet: Kursbereich für die InnoVET-Kurse / Lithografie

Der Kurs Herstellung eines Kraftsensors beinhaltet eine ausführliche Einweisung in die Reinraumarbeit und die gemeinsame Durchführung der Prozessschritte für die Herstellung des mikrotechnischen Basisbauteils eines MEMS-Kraft-/Drucksensors. Bei den Prozessschritten handelt es sich um die thermische Silizium-Oxidation, das Dotieren mittels Diffusion, das Aufbringen verschiedener dünner Schichten, alle Einzelschritte der Photolithografie inklusive der darauffolgenden Strukturierungsprozesse, das Vermessen von elektrischen Widerständen als Funktionstest und das nasschemische anisotrope Ätzen von Silizium mit KOH. Anhand der Qualität der einzelnen Prozessschritte, die z.B. durch Mikroskopieren ermittelt wird, werden die Prozesseinflussgrößen untersucht.

Kursgebühr: kostenfrei

Das Wichtigste auf einen Blick:

Kursinformationen

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Überblick

Willkommen zum faszinierenden Kurs "Herstellung eines Kraftsensors"! Dieser hochmoderne Kurs bietet Ihnen die einzigartige Gelegenheit, die Kunst der Herstellung von Kraftsensoren aus Silizium zu erlernen, während Sie gleichzeitig die Grundlagen für die Produktion von bahnbrechenden Mikrochips entdecken.

Tauchen Sie ein in eine beispiellose Lernerfahrung, die in zwei aufregende Teile aufgeteilt ist. Zuerst betreten Sie unsere immersive 360-Grad-Online-Umgebung, in der Sie virtuell einen hochpräzisen Kraftsensor herstellen. Hier werden Sie mit den raffinierten Abläufen und Schritten des Reinraums vertraut gemacht und legen damit den Grundstein für Ihren bevorstehenden praktischen Teil.

Nachdem Sie die theoretischen Grundlagen erworben haben, ist es an der Zeit, Ihre neu gewonnenen Kenntnisse in die Praxis umzusetzen. Unter der persönlichen Anleitung unserer erstklassigen Fachexperten betreten Sie einen echten Reinraum und führen eigenständig alle Schritte durch, die Sie zuvor im Online-Teil erlernt haben. Nutzen Sie modernste Techniken wie die präzise Lithographie am Maskaligner, vielfältige Ätzprozesse und die faszinierende Welt der Dünnschichttechnologien.

Unser Ziel ist es, Ihnen nicht nur das erforderliche Fachwissen zu vermitteln, sondern Ihnen auch die Fähigkeiten zu verleihen, um in der dynamischen Welt der Mikro- und Nanotechnologie erfolgreich zu sein. Darüber hinaus erhalten Sie einen exklusiven Einblick in die aufregende Mikrochip-Produktion, da viele der angewendeten Techniken sich in beiden Bereichen überschneiden.

Seien Sie Teil dieser innovativen Schulung und positionieren Sie sich als Experte auf dem Gebiet der Silizium-Kraftsensor-Fertigung. Nutzen Sie diese Chance, Ihr berufliches Profil zu stärken und neue Horizonte zu erkunden.

Zielgruppe

Ausbildung zum/r Mikrotechnologen/in und verwandter Berufe (Weiterbildungsangebot – Kooperation mit anderen Universitäten, Berufsschulen, Ausbildungsbetrieben).
Kenntnisse/Qualifizierung in Reinraumtechnik und/oder Praxiserfahrung.
Weiterbildung im Fach Mikrosystemtechnik – speziell in der Reinraumtechnologie – Fotolithografie (beispielsweise auch Einführung neuer Mitarbeiter/Mitarbeiterschulung).

Teilnahmevorraussetungen

Für die Teilnahme an diesem Kurs sind keine erforderlichen Voraussetzungen geknüpft.

Allerdings müssen Sie vor Zutritt in das Labor (Reinraum) die allgemeine Sicherheitsunterweisung sowie die tätigkeitsbezogene Sicherheitsunterweisung erfolgreich absolvieren.

Termine

Nach Vereinbarung

Anbieterinformationen

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TU Braunschweig Institut für Mikrotechnik

Die Forschungsschwerpunkte am IMT reichen von numerischen Simulationsverfahren über materialwissenschaftliche Basisuntersuchungen bis hin zur Entwicklung und Fertigung komplexer Mikrosysteme. Die Fragestellungen für die Mikrosystemtechnik kommen dabei typischerweise aus der interdisziplinären Forschung auf Feldern der Mechatronik, Verfahrenstechnik und der Lebenswissenschaften.